发布日期：2025-07-19 20:06点击次数：142
金融界2025年7月12日消息，国家知识产权局信息显示，深圳市昇维旭技术有限公司申请一项名为“晶圆表面样品制备装置及基于其的晶圆表面取样方法”的专利，公开号CN120293628A，申请日期为2025年04月。
专利摘要显示，一种晶圆表面样品制备装置及基于其的晶圆表面取样方法，该晶圆表面样品制备装置包括：晶圆放置部件，用于放置并固定待制备表面样品的晶圆；晶圆分区部件，盖设于晶圆的待采样表面上，以将待采样表面分隔为至少两个待采样分区；取样组件，用于自动吸取扫描液，和自动向待采样分区喷淋扫描液，以使待采样分区上的污染物混合和/或溶解于扫描液中形成待取样溶液；及用于自动从待采样分区取部分或全部待取样溶液。避免或减小污染风险，不仅考虑了离子溶解差异性，且还能够提升检出限，从而使取样方法的灵敏度较高，便于发现晶圆上的局部污染。
天眼查资料显示，深圳市昇维旭技术有限公司，成立于2022年，位于深圳市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本500000万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳市昇维旭技术有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目8次，财产线索方面有商标信息47条，专利信息119条，此外企业还拥有行政许可15个。
本文源自：金融界
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